光谱椭偏仪
ELLIPSOMETER
设置装备摆设简介
先辈的光谱椭偏仪,接纳J.A.Woollam公司专利的旋转赔偿技能,可以对PSI Delta举行360°无去世角丈量。接纳CCD阵列探测器完成疾速丈量、全光谱丈量。可以表征半导体、无机质料、金属等的光学常数和膜厚,使用普遍. 根本技能参数
Basic technical parameters
1,光谱范畴370nm-1000nm.
2,变角范畴45°-90°一连可变角,盘算机主动控制
3, Z轴范畴: 20mm,盘算机主动控制.
4,丈量工夫:全光谱丈量1-5秒.
5.微光斑:可将光斑减少至200um左右.
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